更新時(shí)間:2024-09-22 12:44:20點(diǎn)擊:
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一、制絨的目的
去除機(jī)械損傷層——主要來(lái)自原片切割過(guò)程中的表面損傷;
增加電池片表面面積——為擴(kuò)散增加制結(jié)面積準(zhǔn)備;陷光原理——大大降低電池片表面反射率;去除雜質(zhì)——HF可以去除電池片表面油污、HCL去除金屬雜質(zhì);
多晶絨面
?單晶絨面
因單多晶晶體結(jié)構(gòu)差異,考慮到效率因素,多晶常用酸制絨,單晶多用堿制絨。多晶制絨面為不規(guī)則凹凸面,單晶制絨面為規(guī)制類金字塔結(jié)構(gòu)。主要原因是多晶內(nèi)部晶體排列方式雜亂所致,具有各項(xiàng)同性。
常見(jiàn)制絨機(jī)臺(tái)
陷光原理是利用光線入射到電池片表面的斜面,進(jìn)而被反射到另一斜面,以形成多次吸收。入射光在經(jīng)過(guò)多次反射,改變了入射光在硅中的前進(jìn)方向,既延長(zhǎng)了光程,又增加了對(duì)紅外光子的吸收,同時(shí)有較多的光子在靠近PN結(jié)附近產(chǎn)生光生載流子,從而增加了光生載流子的收集。
?
陷光原理
二、制絨工藝流程(多晶為例)
制絨槽→水洗→堿洗→水洗 →酸洗→水洗→吹干。
反應(yīng)方程式:
1: Si + 4HNO3 = SiO2 + 4NO2 + 2H2O
2: SiO2 + 4HF = SiF4 + 2H2O
3: SiF4 + HF= H2SiF6
2.1: NO2 + H2O = HNO3 + HNO2
2.2: Si + HNO2 = SiO2 + NO +H2O
2.3: HNO3 + NO + H2O = HNO2
硅片進(jìn)入含有硝酸和氫氟酸的制絨槽,值得注意的是硅和硝酸及氫氟酸單獨(dú)均不發(fā)生反應(yīng),但是當(dāng)三者同時(shí)相處時(shí),反應(yīng)劇烈,所以制絨槽內(nèi)各種酸的比例要求嚴(yán)格(主要針對(duì)效率方面)。
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